本申請屬于量子芯片制造,特別是涉及一種約瑟夫森結(jié)、版圖結(jié)構(gòu)及其制造方法。、約瑟夫森結(jié)或稱為超導(dǎo)隧道結(jié),一般是由兩塊超導(dǎo)體夾一某種很薄的勢壘層而構(gòu)成的結(jié)構(gòu),例如:超導(dǎo)體(s)-絕緣體(i)-超導(dǎo)體(s)結(jié)構(gòu)所形成的約瑟夫森結(jié),簡稱sis。上述的約瑟夫森結(jié)是現(xiàn)代量子計算實現(xiàn)和應(yīng)用的關(guān)鍵部件。具...