一、成果簡介

本產品由鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司開發，集成10項專利成果，具有減薄砂輪、精密倒邊輪、研磨拋光液等系列加工工具，加工效率較同類產品提升30%以上，產品價格降低50%以上，已在半導體制造企業推廣應用。

二、主要指標

（一）減薄砂輪單次進刀量：達到0.8μm/s；

（二）加工工件TTV≤3μm；

（三）損傷層厚度＜2.7μm；

（四）倒邊砂輪槽間距公差：±0.04mm；

（五）倒邊砂輪槽底圓弧公差：±0.01mm；

（六）工件崩口＜30μm；

（七）倒邊砂輪單槽壽命均值（6英寸計）：40～80件；

（八）倒邊砂輪單槽壽命偏差≤5%；

（九）研磨拋光液磨料單顆粒分散穩定全懸浮時間≥6月；

（十）研磨拋光液拋光效率：0.8～1.0μm/h；

（十一）工件Ra≤0.2nm；

（十二）工件TTV≤3μm。

三、聯系方式

閆 巖，18639029926，yyan10@126.com

【責任編輯：孫華宇】