所屬企業：中國有研科技集團有限公司 發布時間：2026-01-06
一、成果簡介
本產品由有研工程技術研究院有限公司開發，集成39項專利成果，可用于半導體靶材用超高純金屬原材料批量生產，所熔煉的超高純金屬銅、鉭、鈷、鎳純度分別達到99.9999%、99.9999%、99.999%和99.995%，超高純銅、鉭鑄錠直徑達到280mm、400mm。已應用于1600kW超高純金屬電子束熔煉爐項目。
二、主要指標
（一）最大功率：1600kW；
（二）電子槍功率：800kW；
（三）加速電壓：60kV；
（四）最大偏轉角：±45°；
（五）極限真空度：5×10-4Pa；
（六）升壓率：0.67Pa/h。
三、聯系方式
朱寶宏，13810118386，zhubh@grinm.com
【責任編輯：劉祉妤】